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簡要描述:非觸式微區(qū)形貌測試系統(tǒng)OSP370/470OSP370模塊可快速地對非觸表面進行高精度測量。在不接觸樣品表面的情況下,它可以在10mm的高度范圍內(nèi)提供小于1微米高度分辨率的3D表面特寫影像。
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非觸式微區(qū)形貌測試系統(tǒng)OSP370/470
使用非接觸式激光位移傳感器,OSP370模塊可快速地對非觸表面進行高精度測量。在不接觸樣品表面的情況下,它可以在10mm的高度范圍內(nèi)提供小于1微米高度分辨率的3D表面特寫影像。
非觸式微區(qū)形貌測試系統(tǒng)OSP370/470
各種可選配件,包括各種可選探針,可選池體(Environmental TriCellTM, μTriCellTM,和Shallow μTriCellTM),長工作距離光學(xué)視頻顯微
鏡(VCAM2)和3D表面陰影渲染軟件(3DlsoPlotTM)。能配置到一個特定的應(yīng)用程序并升級,使M370*靈活,同時保持頂端的性能。
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